洁净室主要测试方法

A. 3.1 风量或风速测试应符合下列规定:

1 对于单向流洁净室,采用室截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量,测点位于高效过滤器出风面约 150mm~300mm,垂直气流处的截面作为采样截面,截面上测点间距不宜大于0.6m,测点数不应少于 4 点,所有读数的算术平均值作为平均风速。

2 对于非单向流洁净室,采用风口或风管法确定送风量,可按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 5024337规定的方法执行.

A.3.2 静压差测试应符合下列规定:

1 静压差的测定应在洁净室(区)的风速、风量和检测合格后进行,并应在所有的门关闭时检测。

2 仪器宜采用各种微差压力计,仪表灵敏度应小于1.0P.

A.3.3 已安装过滤器检漏测试应符合下列规定:

1 检漏方法有光度计法和粒子计数器法。

2 在过滤器上风侧应引入测试用气溶胶,在过滤器下风侧用光度计或粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面扫描速度移动 , 2cm~3cm 处,以 5mm/s~15mm/s 的扫描速度移动,并应注意安装交接处的扫描。

A.3.4 密闭性测试应用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室 (区)或非洁净室(区)通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室 (区)。一般适用于1级至 5 级的洁净室(区)进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。

A. 3.5 洁净度的检测应符合下列规定:

1 使用采样量大于 1L/min 的光学粒子计数器,在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率。仪器应有有效的标定合格证书。

2 最少采样点数应按下式计算:

N_L= A^0.5       (A. 3. 5-1)

式中: N_L -- 最少采样点;

        A--洁净室或被控洁净区的面积(m²)。

3 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内,并位于工作活动的高度,活动高度宜距地面 0.8m;每个采样点的最小采样时间为 1min。

4 每一采样点的每次采样量应至少为2L,采样量应按下式

计算:

Vs =20/C_n.m  * 1000  (A. 3. 5-2)

式中:Vs--每个采样点的每次采样量,以L 表示;当 Vs很大时,可使用顺序采样法;

C_n.m -被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值 (pc/m');

20-在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时,可测到的粒子颗数(pc).

5 当洁净室或洁净区仅有一个采样点时,则在该点应至少采样3次。

A.3.6 对超出等级范围粒子的检测应符合下列规定:

1 在产品生产工艺有要求时,可按等级粒径范围之外的粒子浓度规定空气洁净度的水平。此类粒子的最大允许浓度和检测方法应由客户与建造商协商确定。

2 当需评价小于 0.1μm 的粒子造成的污染危险时,应采用符合这类粒子具体特性的采样方法和装置;可独立应用 U 描述符说明超微粒子浓度,也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明。

U 描述符用“U(x,y)”表示,其中 x 为超微粒子的最大允许浓度(pc/m³),y 为以微米计的粒径。例如:粒径范围等于或大于 0.01μm 的最大允许超微粒子的浓度为 140000 个/m³,应表示为“U(140000,0.01μm)”。

3 当需评价大于 5μm 的粒子造成的污染危险时,应采用符合这类粒子具体特性的采样装置和方法。可独立应用 M 描述符说明大于 5μm 的粒子浓度,也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明。

M 描述符用“M(a,b);c”表示,其中 a 为大粒子的最大允许浓度(pc/m³),b 为与规定的大粒子测量方法相应的当量直径(μm), c 为规定的测量方法。

例如:采用显微镜对多级撞击采样器采集的粒子进行检测,测量得到 10μm~20μm 粒径范围的悬浮粒子浓度为1000个/m³,则· 39 ·用 M 描述符表示为“M(1000;10μm~20μm);多级撞击采样器、显微镜测定粒径并计数”。

A. 4 监测

A. 4.1 按照双方协议书的规定进行空气中悬浮粒子浓度和其他参数的监测。

A. 4.2 双方协议书中应明确测量空气悬浮粒子浓度最少采点、每次最少的空气采样量、采样时间、每个采样点的测量次数、量时间间隔、被计数粒子的粒径,以及粒子数的限值。

A. 4.3 当监测结果超过规定的限值时,则应认定设施不符合要求,应进行修正;修正后应再进行认证检测。当监测结果在规定限值内,可继续监测。

A.5 认证

A.5.1 按双方协议书的规定及第 A. 2 节的要求,按第 A.3 节的方法进行测试,当测试结果在规定的限值之内时,可认定该洁净室符合规定要求,当测试结果超过规定的限值,可认定该洁净室不符合要求,应进行改进,在完成改进工作之后,应进行再认证。

A. 5.2 记录数据评价应符合下列规定:

1 在空气洁净度测试中,当测点在1点~10点时,应计算平均中值、标准偏差、标准误差和由全部采样点的平均粒子浓度导出95%置信上限值。

2 当采样点超过 10 点时,应计算算术平均值,并按算术平均值进行空气洁净度等级的评价。

A. 5.3 每次性能测试或再认证测试应做记录,并应提交性能合格或不合格的综合报告。测试报告应包括下列内容:

1 测试机构的名称、地址。

2 测试日期和测试者签名。

3 执行标准的编号及标准出版日期。

4 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图。

5 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差。

6 测量用的仪器编号和标定证书,测试方法细则及测试中的特殊情况。

7 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度或沉降菌、浮游菌的菌落数。

8 对异常测试值进行说明及数据处理。

9 注明上次的测试日期。

10 设施的测试文件可作为下次监测计划的依据。

A. 5.4 测试机构应提交洁净室检验证书、再检验证书。